電子束蒸發(fā)的原理是基于電子在電場(chǎng)作用下,獲得動(dòng)能打到蒸鍍材料上,使蒸鍍材料加熱汽化,而實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。
電子槍是電子束蒸發(fā)源。它由燈絲及其連接的陰極、聚束極、和陽極組成。其中燈絲和陰極通常由鎢或鉬材料制成。
電子槍加熱特點(diǎn):
1、電子槍加熱比電阻加熱具有更高的能量密度,可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料,如W、Mo、Al2O3等,并可得到較高的蒸發(fā)速率;
2、被蒸發(fā)材料置于水冷銅坩堝內(nèi),可避免坩堝材料污染,可制備高純薄膜;
3、電子槍蒸發(fā)粒子動(dòng)能大,有利于獲得致密、結(jié)合力好的膜層。